简要描述:高分辨肖特基式场发射扫描电子显微镜 高分辨热场发射扫描电子显微镜,配置了肖特基式场发射枪和半漏磁物镜极靴。柔和电子束模式使仪器能够在极低电压(几百伏)下观察样品表面信息。小束流到大束流(几pA到200nA)连续变化。轻松涵盖样品观察到分析的各种需求。 分辨率: 1.0 nm (15 kV), 1.3 nm (1 kV) 加速电压: 0.1 to 30 kV 放大倍数 : ×25 to 1,000,000
更新时间:2021-07-20 10:25:23
● 半漏磁物镜(semi-in-lens),适合观察和分析纳米材料。
●柔和电子束模式保证高、低电压都可保持高分辨率
● 浸没式电子枪,探针电流从几pA到超过200nA,稳定度高,可连续变化。涵盖观察和分析需求。
● 电子枪寿命长,质保3年
● 标配样品交换室,保持镜筒和样品室高洁净,低污染。电镜常年保持高性能。
● 新一代能量过滤器,自由选择形貌信息或成分信息的观察
● 标配孔径角控制镜(ACL),即使在分析状态下,探针电流大,束斑直径小,保证高空间分辨率